주사전자현미경 (FE-SEM & EDS)
NTIS 등록번호 | NFEC-2008-09-066891 | 고정자산 관리번호 |
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한글장비명 | 주사전자현미경 (FE-SEM & EDS) | 모델명 | S-4800 (HITACHI) |
영문장비명 | FE-SEM | 취득방법 | 구매 |
표준분류체계 | |||
연구시설 장비구분 |
주장비 | 주장비 | |
장비이용 가능여부 |
이용가능 |
■ 장비 상세 정보 | |||
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장비사진 |
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취득일자 | 2007-04-04 |
내용연수 | 년 | ||
제작사 | Hitachi | ||
제작국가 | |||
취득금액 | |||
활용범위 | 공동활용허용 가능 | ||
장비용도 | 분석 | ||
장비상태 | 활용 | ||
설치장소 | 익산시 익산대로 460 | ||
기관명 | 차세대방사선산업기술지역혁신센터 | 동/건물명 | 자연과학대학 |
층 수 | B1 | 호실 |
■ 장비 담당자 | |||
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성 명 | 조용균 | 전화번호 | 063-850-7137 |
이메일 | opus5842@naver.com | 휴대폰 |
■ 연구시설·장비 소개 및 이력 | |||
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장비설명 | Resolution : - 1.0nm at 15kV Magnification : - Low Magnification 20 ~ 2000X - High Magnification 100 ~ 800000X Electron Gun - Cold Cathode Field Emission Electron Source Accelerate Voltage - 0.5 ~ 30kV (0.1kV/step) |
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구성 및 성능 | |||
사용 예 | 초미세가공 시료의 구조 분석 저가속 전압에서 무코팅 재료의 고분해능 표면분석 박막 다층막 등의 단면관측을 통한 두께측정과 구조 분석 무기물시료 및 유기물시료의 표면구조분석 시료를 구성하는 원소의 정성 및 정량분석과 조성에 따른 표면 Mapping |
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장비 문의처 | LINC 3.0사업단 공동기기센터 박정민 (063-850-5738) | ||
시료 조건 | 사용료 | SEM : 60,000원(기본 2시간), EDS : 50,000(기본 1시간), PT코팅 : 5,000(1개) |