주사표면전위측정 현미경
| NTIS 등록번호 | NFEC-2019-12-259593 | 고정자산 관리번호 |
458672 |
|---|---|---|---|
| 한글장비명 | 주사표면전위측정 현미경 | 모델명 | SIS |
| 영문장비명 | Scanning Surface Potential Microscope | 취득방법 | 구매 |
| 표준분류체계 | 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경 | ||
| 연구시설 장비구분 |
주장비 | 주장비 | |
| 장비이용 가능여부 |
이용가능 | ||
| ■ 장비 상세 정보 | |||
|---|---|---|---|
| 장비사진 |
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취득일자 | 2019-09-15 |
| 내용연수 | 10년 | ||
| 제작사 | (주)프로브스 | ||
| 제작국가 | 대한민국 | ||
| 취득금액 | 55,000,000 원 | ||
| 활용범위 | 공동활용허용 가능 | ||
| 장비용도 | 분석 | ||
| 장비상태 | 활용 | ||
| 설치장소 | 전라북도 익산시 익산대로 501 (신용동) 344-2번지 | ||
| 기관명 | 원광대학교 산학협력단 | 동/건물명 | 프라임관 |
| 층 수 | 4층 | 호실 | 기능성고분자탄소복합소재 연구실 |
| ■ 장비 담당자 | |||
|---|---|---|---|
| 성 명 | 김 혁(조충연) | 전화번호 | 063-850-5738 |
| 이메일 | dan8@wku.ac.kr | 휴대폰 | 010-7461-0122 |
| ■ 연구시설·장비 소개 및 이력 | |||
|---|---|---|---|
| 장비설명 | SSPM 장비는 나노테크놀로지 분야에서 가장 기본이 되는 표면 형상 분석과 함께 반도체, 도체의 표면 전위차를 측정하여 일함수 값을 구할 수 있으며 시표 표면를 맵핑하여 측정 영역에서의 일함수 차이를 분석할 수 있는 전기적특성 평가가 가능한 장비이다. 또한 고온 및 가스플로우 스테이지가 포함되어 환경에 따른 실험이 가능하다. | ||
| 구성 및 성능 | SSPM 장비는 나노 스케일로 움직일 수 있는 구동계인 최대 40um 이하로 구동이 가능한 스캐너와 시료에 300도 이상 히팅가능한 고온 및 inlet outlet이 있어 가스를 흘려줄 수 있는 샘플 스테이지, 시료의 위치를 변경할 수 있게 최대 50mm 이동되는 마이크로미터로 구성되어 있다. 시료 표면에서의 정보를 아날로그 시그널을 디지털로 변경하여 처리하는 DSP 내장형 컨트롤러 및 오퍼레이팅을 위한 컴퓨터로 구성되어 있다. | ||
| 사용 예 | |||
| 장비 문의처 | LINC+사업단 공동기기센터 김혁(063-850-5738) | ||
| 시료 조건 | 사용료 | ||
